層疊結構熱沉材料,涉及一種微電子封裝使用金屬基平面層狀復合型電子封裝材料,包括銅-鉬銅或鎢銅-銅三層復合,通過熔滲和銅復合一次完成,實現中間層鉬銅或鎢銅中所含銅成分與兩表面銅層熔為一體,有利于提高復合界面結合力,同時也簡化了制備過程。
一種層疊結構熱沉材料的制備方法:包括銅-鉬銅或鎢銅-銅三層復合,其特征在于通過熔滲和銅復合一次完成,實現中間層鉬銅或鎢銅中所含銅成分與兩表面銅層熔為一體,利用熔滲過程殘留的銅層,即層疊結構的上下表面層,厚度大于0.1mm,銅/鎢銅或鉬銅/銅厚度配比為1∶1∶1~1∶6∶1;所述熱沉材料線膨脹系數為6-10ppm/℃,熱導率大于250W/M·K;具體的,層疊結構是在高溫熔滲時一次完成,即熔滲和銅復合一次完成,中間層材料鎢銅或鉬銅合金中所含銅與兩面的復合銅層熔為一整體,所述的熔滲-復合采用工裝夾具完成,利用熔滲過程殘留的銅層,并控制其厚度大于0.1mm,實現層疊結構的上下表面層,銅/鎢銅或鉬銅/銅厚度配比為1∶1∶1~1∶6∶1,完成熔滲/層疊復合后,經機械加工成最終產品。